PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging device that enables a reduction in the number of components for an optical unit and miniaturization of the device and that facilitates adjustment of the optical unit.SOLUTION: An imaging device, which makes light from a light source scan a test object and which takes an image of the test object by return light from the test object, includes a wave aberration correction unit that corrects wave aberration, and an inclination drive unit that periodically inclines the wave aberration correction unit so as to make the test object scanned in a predetermined direction by light reflected from a reflection surface of the wave aberration correction unit.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】 光学ユニットの部品点数の削減、装置の小型化が可能であり、光学ユニットの調整が容易な撮像装置を提供すること。【解決手段】光源からの光を被検査物に走査して、被検査物からの戻り光により被検査物の画像を撮像する撮像装置は、波面収差を補正する波面収差補正部と、波面収差補正部の反射面で反射される光を被検査物に対して所定の方向に走査するように、波面収差補正部を周期的に傾ける傾斜駆動部と、を備える。【選択図】 図2
