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光学特性の測定装置
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 葛西 祐介,川中子 拓嗣,関 敬司
- 申请号：
- JP20150145249
- 公开号：
- JP2017026466(A)
- 申请日:
- 2015.07.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】被検面の光学特性を測定する測定装置において、測定精度を維持しつつ、測定処理の対象とする画像データのデータ量の低減を実現する。【解決手段】被検面の光学特性を測定する測定装置が提供される。測定装置は、光源からの光で前記被検面を照明する照明部と、前記照明部により照明された光の前記被検面からの反射光による像を撮る撮像部と、前記撮像部により得られた第１画像データの画素数を所定の低減率で低減して第２画像データを生成し、前記第２画像データを処理して前記被検面の光学特性を求める処理部とを備え、前記処理部は、前記照明部及び前記撮像部の動作設定に応じて前記所定の低減率を決定する。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
