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石英ガラスルツボの製造方法、及び石英ガラスルツボ
- 专利权人:
- クアーズテック株式会社
- 发明人:
- 照井 達也
- 申请号:
- JP20160168299
- 公开号:
- JP2018035029(A)
- 申请日:
- 2016.08.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】内周側に透明石英からなる透明層を有し、その外周側に多数の閉気孔を含んだ不透明石英層を有する石英ルツボにおいて、引上げ開始時における不透明層の透過率を充分に低下させ、肉厚の増加にともなう保持ルツボへの馴染みをより早い段階で発生させ、引上げ開始時の熱環境を安定化させること。【解決手段】アーク放電により成形体26の内層を溶融し、前記成形体の内周面側に透明層3を形成するステップと、前記成形体の外周面側に、所定量の酸素を含むガスを供給するとともに、前記成形体の外層をアーク放電により溶融し赤色蛍光強度が10以上15以下となる不透明層5を形成するステップと、を含む【選択図】図1
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/