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石英ガラスのサブストレート管を製造する方法
- 专利权人:
- ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトＨｅｒａｅｕｓ Ｑｕａｒｚｇｌａｓ ＧｍｂＨ ＆ Ｃｏ． ＫＧ;信越石英株式会社
- 发明人:
- オリヴァー・ガンツ,ハーラルト・ハイン
- 申请号：
- JP20160125433
- 公开号：
- JP2017014099(A)
- 申请日:
- 2016.06.24
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】寸法安定性および表面品質が高いサブストレート管の費用効率の高い製造のための伸長プロセスを提供する。【解決手段】加熱ゾーン３に、外径Ｃａ、内径Ｃｉであり、内部ボア１３を有する石英ガラスの中空円筒体を連続的に供給し、内部ボア１３内への吹込圧を４００〜１０００Ｐａに調整しつつ、加熱ゾーン３において中空円筒体４をゾーン毎に軟化させて外径Ｔａおよび内径Ｔｉを有する管状ストランド１２を引き取る。ここで、Ｃａ＞１８０ｍｍ、Ｃｒ＞３、Ｔｒ＜１．６、およびＣｉ／Ｔｉ＜２．５が適用可能である（Ｃｒ＝Ｃａ／Ｃｉ、Ｔｒ＝Ｔａ／Ｔｉ）。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
