一种金属钼基微继电器及其制备方法
- 专利权人:
- 北京大学
- 发明人:
- 徐纯纯,陈兢,张轶铭,宋璐,陈献
- 申请号：
- CN201510163239.5
- 公开号：
- CN106158512A
- 申请日:
- 2015.04.08
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 余长江
- 摘要：
- 本发明涉及一种金属钼基微继电器及其制备方法。该金属钼基微继电器，包括作为弹性回复结构的单端固支悬臂梁，连接该单端固支悬臂梁的静电驱动梳齿结构，以及靠近该单端固支悬臂梁一端的触头，所述单端固支悬臂梁、梳齿结构和触头的材料为金属钼。本发明首次以金属钼作为体材料设计静电驱动微继电器，不仅能很好的解决接触电阻问题，还可以减小系统失效。金属钼基微继电器具有很高的可靠性，可广泛应用于消费类电子、医疗保健、汽车工业、工业自动化及机器人、航空航天、以及物联网领域等。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
