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一种能够与玻璃牢固结合的多层金属电极的制备方法
- 专利权人:
- 天津恒电空间电源有限公司;中国电子科技集团公司第十八研究所
- 发明人:
- 王鑫,杜永超,肖志斌,铁剑锐,梁存宝
- 申请号：
- CN201410743014.2
- 公开号：
- CN105742167A
- 申请日:
- 2014.12.08
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 李凤
- 摘要：
- 本发明涉及一种能够与玻璃牢固结合的多层金属电极的制备方法。本发明属于物理电源技术领域。一种能够与玻璃牢固结合的多层金属电极的制备方法，其制备过程：(1)四层结构金属电极的制作：多层金属电极采用电子束真空蒸镀的方式，将玻璃基底放在夹具上放入真空中；将金属放入真空设备的坩埚中，在气压达到1×10-3Pa以下时开始蒸镀，玻璃基底上依次为铝-钛-钯-银结构金属层；(2)烧结处理：在热处理装置中进行烧结处理，制得能够与玻璃牢固结合的多层金属电极。本发明具有工艺简单，无需玻璃刻蚀，能够大大提高电极与玻璃衬底间结合力，产品可靠性高，牢固度好等优点；在民用、军工、航天等领域都有广泛的应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
