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SYSTÈME ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE BALAYER UN FAISCEAU DE LUMIÈRE À IMPULSIONS ULTRACOURTES
专利权人:
WaveLight GmbH
发明人:
申请号:
EP13709909.9
公开号:
EP2812747A1
申请日:
2013.03.15
申请国别(地区):
EP
年份:
2014
代理人:
摘要:
An embodiment of a scanning optical system comprises: an optical source providing a beam of pulsed light of ultra-short pulse duration; a deflector for deflecting the beam through a scan angle; a lens system including a focusing objective for focusing the deflected beam; a dispersion compensating device for reducing dispersion-related distortion of a pulse of the beam by the lens system, the dispersion compensating device including a deformable, dispersive mirror and an actuator device for the mirror; and a controller for controlling the actuator device to change a shape of the mirror in accordance with the scan angle.Selon un mode de réalisation, l'invention concerne un système de balayage optique (10) comprenant : une source optique (22) fournissant un faisceau (38) de lumière pulsée à durée d'impulsion ultracourte ; un déflecteur (26) pour dévier le faisceau à travers un angle de balayage ; un système de lentilles incluant un objectif de focalisation (30) pour focaliser le faisceau dévié ; un dispositif de compensation de dispersion (25) pour réduire la distorsion liée à la dispersion d'une impulsion du faisceau par le système de lentilles, le dispositif de compensation de dispersion comprenant un miroir déformable dispersif (42) et un dispositif actionneur (44) pour le miroir ; ainsi qu'un dispositif de commande (18) pour commander le dispositif actionneur afin de changer la forme du miroir en fonction de l'angle de balayage.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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