This sensor comprises: a lower electrode layer that faces a cavity； a piezoelectric layer that is positioned on the lower electrode layer； and an upper electrode layer that is positioned on the piezoelectric layer. The piezoelectric layer has a first piezoelectric part and a second piezoelectric part. The first piezoelectric part is formed from a piezoelectric first material, and at least partially overlaps the cavity when viewed in plan. The second piezoelectric part is formed from a piezoelectric second material that is different from the first material in at least one of the g constant and the d constant, and is positioned in a region that is different from the region where the first piezoelectric part is arranged, while at least partially overlapping the cavity when viewed in plan.Ce capteur comprend : une couche inférieure d'électrode qui fait face à une cavité ； une couche piézoélectrique qui est positionnée sur la couche inférieure d'électrode ； et une couche supérieure d'électrode qui est positionnée sur la couche piézoélectrique. La couche piézoélectrique a une première partie piézoélectrique et une seconde partie piézoélectrique. La première partie piézoélectrique est formée à partir d'un premier matériau piézoélectrique et chevauche au moins partiellement la cavité lorsqu'elle est vue en plan. La seconde partie piézoélectrique est formée à partir d'un second matériau piézoélectrique qui est différent du premier matériau dans au moins l'une de la constante g et de la constante d, et est positionnée dans une région qui est différente de la région où la première partie piézoélectrique est disposée, tout en chevauchant au moins partiellement la cavité lorsqu'elle est vue en plan.センサは、キャビティに対向している下部電極層と、下部電極層上に位置している圧電体層と、圧電体層上に位置している上部電極層と、を有している。圧電体層は、第１圧電部および第２圧電部を有している。第１圧電部は、圧電性の第１材料からなり、平面視においてキャビティに少なくとも一部が重なっている。第２圧電部は、第１材料とはｇ定数およびｄ定数の少なくとも一方が異なる、圧電性の第２材料からなり、平面視において、第１圧電部の配置領域とは異なる領域に位置し、かつ少なくとも一部がキャビティに重なっている。
