１３族元素窒化物結晶層および機能素子
- 专利权人:
- 日本碍子株式会社
- 发明人:
- 岩井 真,吉野 隆史
- 申请号：
- JP20160501473
- 公开号：
- JPWO2016093033(A1)
- 申请日:
- 2015.11.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 結晶層３の主面３ａ、３ｂと垂直な断面において、キャリア濃度が１×１０１８／ｃｍ３以上である高キャリア濃度領域９と、キャリア濃度が９×１０１７／ｃｍ３以下である低キャリア濃度領域１０とが存在しており、低キャリア濃度領域９が細長い形状であり、低キャリア濃度領域９が会合部１１を有しており、低キャリア濃度領域９が一対の主面３ａ、３ｂ間で連続している。【選択図】図４
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
