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１３族元素窒化物層の分離方法および複合基板
- 专利权人:
- 日本碍子株式会社
- 发明人:
- 今井 克宏,岩井 真,下平 孝直
- 申请号：
- JP20160516109
- 公开号：
- JPWO2016088624(A1)
- 申请日:
- 2015.11.25
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- サファイア基板と、サファイア基板上に設けられた１３族元素窒化物層とを備える複合基板を準備する。１３族元素窒化物層が窒化ガリウム、窒化アルミニウムまたは窒化ガリウムアルミニウムからなる。複合基板が関係式（１）（２）および（３）を満足する。複合基板に対して、サファイア基板側からレーザー光を照射することで、サファイア基板と１３族元素窒化物層との界面の結晶格子結合を分解する。 ５．０≦（１３族元素窒化物層の平均厚さ（μm）／前記サファイア基板の直径（ｍｍ）≦１０．０・・・・（１）： ０．１≦前記複合基板の反り（ｍｍ）×（５０／前記複合基板の直径（ｍｍ））２≦０．６・・・・（２）： １．１０≦前記１３族元素窒化物層の厚さの最大値（μｍ）／前記１３族元素窒化物層の厚さの最小値（μｍ）・・・・（
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
