元素識別装置、元素識別プログラムおよび元素識別方法
- 专利权人:
- 富士通株式会社
- 发明人:
- 山▲崎▼ 貴司
- 申请号:
- JP20150233915
- 公开号:
- JP2017101971(A)
- 申请日:
- 2015.11.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】短時間で元素識別を可能とすること。【解決手段】走査透過型電子顕微鏡像における原子に対応した信号強度に基づき前記走査透過型電子顕微鏡像における原子位置をそれぞれ複数のグループ52、54に対応させ、前記複数のグループそれぞれ内において、原子位置を全て通る最短ルート63、65を算出し、算出結果に基づき前記複数のグループ間で原子位置の一部を入れ換える演算部と、前記演算部が前記原子位置の一部を入れ換えた後、前記複数のグループ内の原子位置をそれぞれ異なる元素に識別する元素識別部と、を具備する元素識別装置。【選択図】図14
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