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質量分析法によるサブミクロン元素画像解析の装置及び方法
专利权人:
ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ レランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティー
发明人:
ベンドール,ショーン,シー.,アンジェロ,ロバート,エム.,ノーラン,ギャリー,ピー.
申请号:
JP20160559526
公开号:
JP2017511571(A)
申请日:
2015.03.30
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
平面サンプルの元素分析のための質量分析計システムが提供される。いくつかの実施形態では、質量分析計システムは以下を備える:直径1mm未満である一次イオンビームで平面サンプルのセグメントを照射することが可能な一次イオン源、c)サンプルインターフェースの下流に配置された直交イオンの質量対電荷比分析器であって、前記分析器は、飛行時間によって質量対電荷比に応じて二次元素原子イオンを分離するように構成されている;d)二次元素原子イオンを検出して質量スペクトル測定を生成するための主イオン検出器;及びe)シンクロナイザー、ここでシステムは、一次イオンビームが前記平面サンプルを二次元に横切ってスキャンするように構成されており、シンクロナイザーは質量スペクトル測定値を平面サンプル上の位置と関連
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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