複合基板の製造方法、１３族元素窒化物からなる機能層の製造方法

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专利权人:

日本碍子株式会社

发明人:

倉岡 義孝,岩井 真

申请号：

JP20130546473

公开号：

JP6144630(B2)

申请日:

2013.07.19

申请国别(地区):

日本

年份:

2017

代理人:

摘要：

A composite substrate 10 includes a sapphire body 1A, a seed crystal film 4 composed of gallium nitride crystal and provided on a surface of the sapphire body, and a gallium nitride crystal layer 7 grown on the seed crystal film 4 and having a thickness of 200 μm or smaller. Voids 5 are provided along an interface between the sapphire body 1A and the seed crystal film 4 in a void ratio of 4.5 to 12.5 percent.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/