１３族元素窒化物結晶基板および機能素子
- 专利权人:
- 日本碍子株式会社
- 发明人:
- 岩井 真,吉野 隆史
- 申请号：
- JP20160513170
- 公开号：
- JPWO2016088696(A1)
- 申请日:
- 2015.11.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 結晶基板２は、１３族元素窒化物結晶からなり、第一の主面２ａおよび第二の主面２ｂを有する。第一の主面２ａと第二の主面２ｂとの間に、低キャリア濃度領域４と高キャリア濃度領域５とが伸びている。低キャリア濃度領域４のキャリア濃度が１０１８／ｃｍ３以下であり、低キャリア濃度領域４の欠陥密度が１０７／ｃｍ２以下である。高キャリア濃度領域５のキャリア濃度が１０１９／ｃｍ３以上であり、高キャリア濃度領域６の欠陥密度が１０８／ｃｍ２以上である。【選択図】 図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
