INVESTIGATION OF HIGH-TEMPERATURE SPECIMENS IN A CHARGED PARTICLE MICROSCOPE
- 专利权人:
- FEI Company
- 发明人:
- Novak Libor,Hlavenka Petr,Uncovsky Marek,Cafourek Martin
- 申请号：
- US201615206523
- 公开号：
- US2017103868(A1)
- 申请日:
- 2016.07.11
- 申请国别(地区):
- 美国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- A method of examining a specimen in a Charged Particle Microscope, comprising the following steps:
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
