应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置
- 专利权人:
- 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
- 发明人:
- 唐强
- 申请号：
- CN201320335719.1
- 公开号：
- CN203343897U
- 申请日:
- 2013.06.09
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 屈蘅`李时云
- 摘要：
- 本实用新型提供了一种应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置，其特征在于，包括：泥浆手臂装置、第一泥浆手臂、第二泥浆手臂、第一泥浆喷嘴、第二泥浆喷嘴；所述第一泥浆手臂和第二泥浆手臂分别与所述泥浆手臂装置连接；所述第一泥浆喷嘴与所述第一泥浆手臂连接；所述第二泥浆喷嘴与所述第二泥浆手臂连接。增加一个泥浆手臂，改变泥浆分布方向，从而充分利用泥浆，避免不必要的浪费。同时使得泥浆更好地均匀分布在抛光垫表面。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
