PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam irradiation device which can improve the efficiency of beam utilization by reducing an unused amount of beams.SOLUTION: An irradiation field forming unit 500 includes a scanning electromagnet which scans a charged particle beam emitted from a synchrotron 200 in a direction perpendicular to the beam advance direction. An irradiation order determination system 63 of a control unit 600 predicts a circling beam amount which will be lost when a circling beam being accelerated for some energy is reaccelerated or decelerated for another energy, and, by using a circling beam charge amount measured by a circling beam charge amount monitor 25 and an irradiation dose measured by an irradiation dose monitor 52, changes the operation pattern of the synchrotron so as to minimize the lost circling beam amount through entire irradiation, thereby determining the order of energy to be irradiated with.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】不使用ビーム量を低減し、ビーム利用効率を向上できる荷電粒子ビーム照射装置を提供することである。【解決手段】照射野形成装置500は、シンクロトロン200から出射された荷電粒子ビームをビーム進行方向と垂直な方向に走査する走査電磁石を有する。制御装置600の照射順番決定システム63は、あるエネルギーに周回ビームが加速された状態から他のエネルギーへ再加速または再減速した場合に損失される周回ビーム量を予測し、周回ビーム電荷量モニタ25により測定された周回ビーム電荷量と、照射線量モニタ52により測定された照射線量を用いて、照射全体を通して損失する周回ビーム量が最小になるようにシンクロトロンの運転パターンを変更して、照射するエネルギーの順番を決定する。【選択図】図4