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一种基于CuO-NiO核壳结构的异质结NO2气体传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 吉林大学
- 发明人:
- 阮圣平,曲凤东,刘彩霞,高强,温善鹏,周敬然,沈亮,董玮
- 申请号：
- CN201410153128.1
- 公开号：
- CN103884743B
- 申请日:
- 2014.04.16
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 张景林`王恩远
- 摘要：
- 一种基于CuO/NiO核壳结构的异质结NO2气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在插指电极上制备的CuO-NiO核壳结构异质结纳米微球敏感层组成；其中CuO/NiO核壳结构纳米微球敏感层的厚度为2～4μm，粒径为600～800nm，金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm，厚度为100～150nm。采用CuO/NiO核壳结构纳米微球作为敏感材料，不但应用了其较高比表面积，还可以有效地利用CuO/NiO核壳结构纳米微球的异质结构提高气敏响应。同时本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、适于大批量生产，因而具有重要的应用价值。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
