基于棒束状In₂O₃纳米敏感材料的NO₂气体传感器及其制备方法

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专利权人:

吉林大学

发明人:

卢革宇,李晓伟,孙鹏,刘凤敏

申请号：

CN201510003593.1

公开号：

CN104458829A

申请日:

2015.01.05

申请国别(地区):

中国

年份:

2015

代理人:

张景林`王恩远

摘要：

本发明属于半导体氧化物气体传感器技术领域，具体涉及一种基于棒束状In₂O₃纳米敏感材料的NO₂传感器及其制备方法。整个工艺流程包括In₂O₃纳米材料的合成和NO₂气体传感器的制作两个方面。本发明首先采用微波水热与煅烧相结合的方法成功地制备了棒束状In₂O₃气敏材料。该合成方法具有操作简单、产率高、可重复性好、节能高效、成本低廉等优点，适于规模化生产。此外，基于上述合成的In₂O₃材料，本发明采用传统的旁热式器件结构，构筑了NO₂气体传感器。研究发现，该传感器能对NO₂表现出非常出色的响应。更重要的是该种类型的传感器体积小、成本低，使得其在NO₂监测方面展现出非常广阔的应用前景。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/