一种基于柔性衬底的气体传感器敏感膜的制备方法
- 专利权人:
- 中国科学院微电子研究所
- 发明人:
- 李冬梅,詹爽,梁圣法,陈鑫,李小静,张浩,罗庆,谢常青,刘明
- 申请号：
- CN201210558369.5
- 公开号：
- CN103033537A
- 申请日:
- 2012.12.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 任岩
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于柔性衬底的气体传感器敏感膜的制备方法，包括：选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积掺杂碳纳米管的rr-P3HT薄膜。利用本发明，制备出能够检测食品变质产生的挥发性有机化合物的气体传感器敏感膜。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
