一种电容式柔性压力传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 发明人:
- 张鹏,黄梁松,张坤,王硕,李玉霞
- 申请号：
- CN202211372175.6
- 公开号：
- CN115638905A
- 申请日:
- 2022.10.31
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2023
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种电容式柔性压力传感器，包括：由上自下依次排布的上封装层、上电极层、中间介电层、下电极层和下封装层，上封装层和下封装层平行设置；上电极层、下电极层和中间介电层均由具有砂纸微结构的导电薄膜制成；中间介电层至少具有两个连续的凸起结构，中间介电层的相对上电极层的上表面和相对下电极层的下表面上具有砂纸微结构；上封装层和下封装层由PI聚酰亚胺薄膜制成；上电极层和下电极层分别在其相互远离的一侧上设有导线。本发明的技术方案克服现有技术中柔性传感器检测范围小、低压区灵敏度不理想、使用寿命短、制作难度高等问题的问题。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
