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一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 北京先智集成技术有限公司
- 发明人:
- 刘健朝,徐淮良,苏越,李彩丽
- 申请号：
- CN201911021102.0
- 公开号：
- CN110631750A
- 申请日:
- 2019.25.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器及其制备方法,属于传感器技术领域,该方法是首先制备图案化的硅微纳结构模板,进而制备具有微纳米结构的PDMS薄膜,在PDMS柔性衬底上制备碳纳米管薄膜作为下导电层,另一电极采用导电银浆、PEDOT:PSS或者碳纳米管在Parylene薄膜上制备图案化的导电薄膜,并利用导电银浆将导电薄膜层和导线连接,最终将两组导电层采用正对组装的方式制备出高灵敏度多通道柔性压力传感器。本发明制备的柔性传感器,具有工艺简单、抗干扰能力强以及可大范围变形的优势;采用具有柱状微纳结构的PDMS层,可以实现对传感器灵敏度的增强以及调控;采用光刻的方式将导电层进行图案化,进而可以实现多通道的压力探测,提高了器件的感知密度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
