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一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器
- 专利权人:
- 北京先智集成技术有限公司
- 发明人:
- 刘健朝,徐淮良,苏越,李彩丽
- 申请号：
- CN201921803786.5
- 公开号：
- CN210400683U
- 申请日:
- 2019.25.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型公开了一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器,属于传感器技术领域,该压力传感器从上到下依次由Parylene层、上导电层、下导电层及具有微纳结构的PDMS层组成,所述上导电层与下导电层通过导电银浆及导线连接,所述具有微纳结构的PDMS层由PDMS层及其上的微纳结构组成;本实用新型的柔性传感器,具有工艺简单、抗干扰能力强以及可大范围变形的优势;采用具有柱状微纳结构的PDMS层,可以实现对传感器灵敏度的增强以及调控;采用光刻的方式将导电层进行图案化,进而可以实现多通道的压力探测,提高了器件的感知密度;采用光刻的方式将导电层进行图案化,进而可以实现多通道的压力探测,提高了器件的感知密度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
