一种硅微针基板
- 专利权人:
- 山东元旭光电股份有限公司
- 发明人:
- 郭文平,赵科研,许南发
- 申请号：
- CN201621393213.6
- 公开号：
- CN206837233U
- 申请日:
- 2016.12.19
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型公开了一种硅微针基板,包括硅基板,硅基板上设有硅微针,硅微针是利用湿法腐蚀腐蚀硅基板得到的硅微针图形制成,并且本实用新型的硅微针呈两段式分布,硅微针下段呈多角锥状,硅微针上段为棱锥状结构。本实用新型的硅微针基板制备工艺简单,仅需湿法刻蚀便可制得所需硅微针,避免了干法刻蚀带来的环境污染和大量资金使用,经济实惠,所制硅微针耐用性好,特别适合用于美容、医疗器械和生物医疗领域,尤其是透皮给药的异平面硅微针基板的制备,适合于大规模生产。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
