一种硅微针基板及其制备方法

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专利权人:

山东元旭光电股份有限公司

发明人:

郭文平,赵科研,许南发

申请号：

CN201611176719.6

公开号：

CN106730309A

申请日:

2016.12.19

申请国别(地区):

CN

年份:

2017

代理人:

摘要：

本发明公开了一种硅微针基板及其制备方法，硅微针制备方法包括硅基板清洗，硅基板保护膜，光刻，图形转移和湿法刻蚀硅基板步骤。硅基板净化后，在硅基板的两面生长二氧化硅膜，然后在二氧化硅膜上面遮盖上带有实体图形的掩膜板，经过光刻、曝光等将掩膜板上的实体图形转移到二氧化硅膜上，再利用湿法刻蚀硅基板制得针尖和针体，然后用BOE腐蚀去掉多余的二氧化硅膜得到硅微针基板。本发明工艺简单，仅需湿法刻蚀便可制得所需硅微针，避免了干法刻蚀带来的环境污染和大量资金使用，经济实惠，所制硅微针耐用性好，特别适合用于美容、医疗器械和生物医疗领域，尤其是透皮给药的异平面硅微针基板的制备，适合于大规模生产。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/