具有电容式压力传感器的压力感测
- 专利权人:
- 皇家飞利浦有限公司
- 发明人:
- P·迪克森,R·G·毛奇斯措克,P·H·M·蒂默曼斯
- 申请号：
- CN201980015946.6
- 公开号：
- CN111787850A
- 申请日:
- 2019.02.19
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 公开了一种电容式压力传感器(10)，其包括：膜(21)，其包括第二电极(23)，所述膜在空间上通过腔体(20)与衬底(11)间隔开，所述衬底包括与所述第二电极相对的第一电极(13)；以及中央支柱(22)，其从所述膜延伸到所述衬底，使得腔体是包围所述中央支柱的环形腔体；还公开了一种包括这种电容式压力传感器的侵入性医学仪器以及制造这种电容式压力传感器的方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
