KONINKLIJKE PHILIPS N.V.;NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人:
VOGTMEIER, Gereon,HERMES, Dorothee,LIU, Bo,YAROSHENKO, Andre,UNNIKRISHNAN, Sandeep,JACOBS, Johannes Wilhelmus Maria
申请号：
EPEP2019/080772
公开号：
WO2020/099280A1
申请日:
2019.11.11
申请国别(地区):
EP
年份:
2020
代理人:
摘要：
The invention relates to a method of manufacturing a structured grating, a corresponding structured grating component (1) and an imaging system. The method comprising the steps of: providing (110, 120, 130) a catalyst (30) on a substrate (20), the catalyst (20) having a grating pattern； growing (140) nanostructures (50) on the catalyst (30) so as to form walls (52) and trenches (54) based on the grating pattern； and filling (160) the trenches (54) between the walls (52) of nanostructures (50) using an X-ray absorbing material (70). The invention provides an improved method for manufacturing a structured grating and such structured grating component (1), which is particularly suitable for dark- field X-ray imaging or phase-contrast imaging.L'invention concerne un procédé de fabrication d'un réseau structuré, un composant de réseau structuré (1) correspondant et un système d'imagerie. Le procédé comprend les étapes consistant à : fournir (110, 120, 130) un catalyseur (30) sur un substrat (20), le catalyseur (20) ayant un motif de réseau ； faire croître (140) des nanostructures (50) sur le catalyseur (30) de manière à former des parois (52) et des tranchées (54) sur la base du motif de réseau ； et remplir (160) les tranchées (54) entre les parois (52) de nanostructures (50) à l'aide d'un matériau absorbant les rayons X (70). L'invention concerne un procédé amélioré de fabrication d'un réseau structuré et un tel composant de réseau structuré (1), qui est particulièrement approprié pour une imagerie par rayons X en champ sombre ou une imagerie par contraste de phase.
