基板の表面を研磨する装置および方法、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
- 专利权人:
- 株式会社荏原製作所
- 发明人:
- 石井 遊,中西 正行,内山 圭介
- 申请号：
- JP20160144713
- 公开号：
- JP2018014465(A)
- 申请日:
- 2016.07.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ウェーハなどの基板の表面上に存在する異物またはパーティクルの分布に基づいて、該基板の表面を適切に研磨することができる装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、基板Ｗの第一の面Ａ１上のパーティクルを計数するパーティクルカウンタ７０と、基板Ｗの第一の面上のパーティクルの分布に最も類似する研磨レート分布をデータベースから選択し、選択された研磨レート分布に関連付けられた研磨レシピを決定する動作制御部４と、決定された研磨レシピに従って基板Ｗの第一の面を研磨する研磨部３とを備える。【選択図】図１
- 来源网站：
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