基板の表面を研磨する装置および方法
- 专利权人:
- 株式会社荏原製作所
- 发明人:
- 石井 遊,中西 正行,内山 圭介
- 申请号：
- JP20170051673
- 公开号：
- JP2018015890(A)
- 申请日:
- 2017.03.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ウェーハなどの基板の表面の最外部を含む表面全体を研磨することができる装置および方法を提供する。【解決手段】装置は、基板Ｗを保持し、該基板Ｗを回転させる基板保持部１０と、研磨具６１を基板Ｗの第一の面１に摺接させて、該第一の面１を研磨する研磨ヘッド５０とを備える。前記基板保持部１０は、基板Ｗの周縁部に接触可能な複数のローラー１１を備え、複数のローラー１１は、各ローラー１１の軸心を中心に回転可能に構成されている。このため、ローラー１１が研磨ヘッド５０に接触することなく、前記研磨具６１は、基板Ｗの第一の面全体を研磨することができる。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
