基板の表面を研磨する装置および方法、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
- 专利权人:
- 株式会社荏原製作所
- 发明人:
- 石井 遊,内山 圭介,中西 正行,戸川 哲二
- 申请号：
- JP20160151863
- 公开号：
- JP2018022740(A)
- 申请日:
- 2016.08.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ウェーハなどの基板の表面を適切に研磨することができる装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、基板Ｗの表面を研磨するための複数の研磨具６１、および複数の研磨具６１にそれぞれ連結された複数の研磨具移動機構７１を有する研磨ヘッド５０と、研磨ヘッド５０をその軸心ＨＰを中心に回転させるヘッド回転機構５８とを備える。複数の研磨具移動機構７１は、複数の研磨具６１を研磨ヘッド５０の軸心ＨＰに垂直な方向にそれぞれ独立に移動させることが可能に構成されている。【選択図】図３
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
