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酸性銅電気めっき浴から基板上のビア内へ銅を電気めっきする方法
- 专利权人:
- ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーＲｏｈｍ ａｎｄ Ｈａａｓ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ＬＬＣ
- 发明人:
- マシュー・ソーセス,マーク・スカリシ,コリー・キウロ
- 申请号：
- JP20160201666
- 公开号：
- JP2017101320(A)
- 申请日:
- 2016.10.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】基板上のビア内へ酸性銅電気めっき浴から実質的に空隙のないビアフィル及び欠陥のない表面を有する銅を電気めっきする方法の提供。【解決手段】５００〜２００００ｇ／モルの重量平均分子量を有する、式（Ｉ）で表さわれる、第１級アルコールアルコキシレートブロック共重合体と、１６〜３５のＨＬＢ範囲を有するエチレンオキシド／プロピレンオキシドランダム又はブロック共重合体とを含有する銅電気めっき浴。（Ｒは直鎖／分岐の（Ｃ１−Ｃ１５）アルキル基又は直鎖／分岐の（Ｃ２−Ｃ１５）アルケニル基；ｍ及びｎは夫々独立に整数）【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
