您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム、並びに粘着フィルムを用いる半導体ウェハの保護方法及び半導体装置の製造方法
专利权人:
三井化学東セロ株式会社
发明人:
栗田 恭三
申请号:
JP20150562858
公开号:
JP6121003(B2)
申请日:
2015.02.12
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
An adhesive film for protecting the surface of a semiconductor wafer has a base film and an adhesive layer on one surface of the base film. The adhesive layer contains: a polymer (A), the dynamic viscoelasticity (tanδ) of which is at its maximum at a temperature of 0℃ or more; and a polymer (B) the dynamic viscoelasticity (tanδ) of which is at its maximum at a temperature of 0℃ or less, in a mass ration (A/B) of 57/43 to 90/10. The polymer (A) contains 22 to 30 mass % of structural units derived from acrylonitrile or methacrylonitrile. The adhesive film for protecting the surface of a semiconductor wafer has an adhesibility of 1,0N/25mm or more at a peal rate of 10mm/min.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充