金属炭化物含有薄膜形成用原料及び金属炭化物含有薄膜の製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ＡＤＥＫＡ
- 发明人:
- 西田 章浩,吉野 智晴,杉浦 奈奈
- 申请号：
- JP20160133137
- 公开号：
- JP2018003110(A)
- 申请日:
- 2016.07.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】自然発火性が無く、熱分解性及び／又は反応性ガスとの反応性が良い金属炭化物含有薄膜形成用原料の提供。【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物を含有してなる金属炭化物含有薄膜形成用原料。（Ｒ１〜Ｒ５は夫々独立にＨ又はＣ１〜５のアルキル基；Ｒ６〜Ｒ８は夫々独立にＣ１〜５のアルキル基；Ｍはチタン、ジルコニウム又はハフニウム）【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
