PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an exposure irradiation device which can accurately irradiate an irradiation position with exposure light from inside of a tube.SOLUTION: The present invention includes: a guide pipe 11 an opening 11a formed on a side of the guide pipe an optical fiber 15a positioned in the guide pipe and is a light guide path that transmits exposure light 16a a lens 17 positioned in the guide pipe and condensing the exposure light transmitted by the light guide path and a mirror 18 for reflecting the exposure light 16a condensed by the lens. Outside of the guide pipe is irradiated with exposure light reflected by the mirror through the opening.SELECTED DRAWING: Figure 3COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】管の内側から照射位置精度良く露光光を照射できる露光光照射装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、ガイドパイプ11と、前記ガイドパイプの側面に形成された開孔部11aと、前記ガイドパイプ内に配置され、露光光16aを伝送する光導波路である光ファイバー15aと、前記ガイドパイプ内に配置され、前記光導波路によって伝送された前記露光光を集光するレンズ17と、前記レンズによって集光された露光光16aを反射させるミラー18と、を具備し、前記ミラーによって反射された前記露光光は、前記開孔部を通って前記ガイドパイプの外側に照射される露光光照射装置である。【選択図】 図3
