一种MEMS超微液体喷射芯片
- 专利权人:
- 合肥芯福传感器技术有限公司
- 发明人:
- 赵照
- 申请号：
- CN201821521287.2
- 公开号：
- CN208875425U
- 申请日:
- 2018.18.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 一种MEMS超微液体喷射芯片,包括:液体通路,具有固定的液体流向;微孔雾化组件,包括沿着液体流向依次设置在所述液体通路上的第一微喷孔板、第二微喷孔板和第三微喷孔板,所述第一微喷孔板、第二微喷孔板和第三微喷孔板上均具有微孔阵列,其孔径依次递减,在微孔阵列上还设置微孔开关;所述第一微喷孔板、第二微喷孔板和第三微喷孔板之间分别形成第一液体腔和第二液体腔;电路控制模块,通过控制微孔雾化组件的形变实现液体的吸入和喷出。利用MEMS工艺制作的微喷孔板能够实现微米级甚至纳米级的超微孔径,逐级设置在液体通路中可实现液体的层层雾化,并且具有结构简单、体积小、功耗低的显著优势,尤其适用于要求严苛的工作场景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
