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OPTICAL INTERFERENCE TOMOGRAPHIC APPARATUS
专利权人:
CANON INC;キヤノン株式会社
发明人:
OYAIZU KEISUKE,小柳津 圭介
申请号:
JP2018089409
公开号:
JP2019195378A
申请日:
2018.05.07
申请国别(地区):
JP
年份:
2019
代理人:
摘要:
To efficiently receive interference light by a light-receiving element even when a temperature change occurs within the apparatus.SOLUTION: An optical interference tomographic apparatus includes: an optical fiber for guiding multiplexed light obtained by multiplexing return light from a subject projected with measurement light and reference light corresponding to the measurement light; a first lens for guiding light from the emission end of the optical fiber to a diffraction grating; a second lens for guiding light from the diffraction grating to a light-receiving element which includes a plurality of pixels; and at least one lens barrel which surrounds an optical path including the first lens and an optical path including the second lens, and in which are disposed the emission end of the optical fiber, the first lens, the diffraction grating, the second lens, and the light-receiving element.SELECTED DRAWING: Figure 6【課題】 装置内部において温度変化が生じた場合でも、干渉光を受光素子で効率的に受光する。【解決手段】 光干渉断層撮影装置は、測定光を照射した被検査物からの戻り光と測定光に対応する参照光とを合波して得た合波光を導光する光ファイバと、光ファイバの射出端からの光を、回折格子に導光する第1のレンズと、回折格子からの光を、複数の画素を含む受光素子に導光する第2のレンズと、第1のレンズを含む光路及び第2のレンズを含む光路を囲う少なくとも1つの鏡筒であって、光ファイバの射出端と第1のレンズと回折格子と第2のレンズと受光素子とが配置される鏡筒と、を有する。【選択図】 図6
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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