捕捉体交換機構および微粒子組成分析装置
- 专利权人:
- 富士電機株式会社
- 发明人:
- 武田 直希,長谷川 祥樹,小泉 和裕,浅野 貴正
- 申请号：
- JP20150235098
- 公开号：
- JP2017102009(A)
- 申请日:
- 2015.12.01
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】微粒子組成分析装置において、捕捉体の交換時に減圧チャンバーを大気圧下に開放すると、再び減圧チャンバーの全体を真空引きして減圧状態に戻すには時間がかかり、測定のデッドタイムが長くなるという課題があった。【解決手段】捕捉体交換機構は、微粒子を捕捉するための捕捉体を保持するロッドと、捕捉体が設置される減圧空間に接続される補助空間の少なくとも一部を有する接続部とを備え、ロッドを移動させることにより、減圧空間の減圧状態を保ったまま、捕捉体を減圧空間から補助空間側に退避させて大気圧下に開放することができる。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
