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微粒子分析方法
- 专利权人:
- 新日鐵住金株式会社
- 发明人:
- 辻 典宏,西野宮 卓,板橋 大輔
- 申请号：
- JP20160196442
- 公开号：
- JP2017072593(A)
- 申请日:
- 2016.10.04
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】より容易に微粒子を捕集するとともに、その捕集した微粒子に対して１粒子解析を円滑に行うことを可能にする。【解決手段】分級器によって分級された特定の大きさ以下の粒子径を有する微粒子を、合成樹脂膜にトラックエッチング法によって空孔を多数形成することにより作製されるトラックエッチドメンブレンフィルタ上に捕集し、前記微粒子が捕集された前記トラックエッチドメンブレンフィルタを分析装置の試料台上に固定し、前記トラックエッチドメンブレンフィルタ上の前記微粒子に対して電子ビーム及び集束イオンビームの少なくともいずれかを照射することにより、前記微粒子ごとの成分を少なくとも分析する、微粒子分析方法を提供する。【選択図】図３
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
