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光驱动双轴光学扫描探针
专利权人:
凝辉(天津)科技有限责任公司
发明人:
徐英舜
申请号:
CN201220258457.9
公开号:
CN202920133U
申请日:
2012.06.04
申请国别(地区):
CN
年份:
2013
代理人:
摘要:
一种光驱动双轴光学扫描探针,它包括扫描微镜,微光电系统和硅光学平台,其中扫描微镜包括微驱动器、平面弹簧和可动镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连;每个器件包括1个可动镜片、4个平面弹簧和4个微驱动器,可动镜片与4个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连;微光电系统包括单模光纤、自聚焦透镜、2片滤光片和2片光电池;经过微光电系统传输和聚焦的入射光束经扫描微镜偏转90度后垂直入射到成像目标,由成像目标反射回来的光束经扫描微镜偏转90度后由微光电系统收集并传输到外部光学成像系统。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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