基于双旋转微镜的光学扫描探针
- 专利权人:
- 凝辉(天津)科技有限责任公司
- 发明人:
- 徐英舜
- 申请号：
- CN201210167500.5
- 公开号：
- CN102670179A
- 申请日:
- 2012.05.28
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，它包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接；经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标，由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
