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基于双旋转微镜的光学扫描探针
专利权人:
凝辉(天津)科技有限责任公司
发明人:
徐英舜
申请号:
CN201220241785.8
公开号:
CN202920132U
申请日:
2012.05.28
申请国别(地区):
CN
年份:
2013
代理人:
摘要:
一种基于双旋转微镜的光学扫描探针,它包括双旋转微镜,微光学系统和硅光学平台,其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连;微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤;硅光学平台用于校准和固定微光学系统,并为双旋转微镜提供电气连接;经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标,由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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