超声换能器及其制造方法
- 专利权人:
- 深圳市汇顶科技股份有限公司
- 发明人:
- 纪登鑫,沈健
- 申请号：
- CN202210309026.9
- 公开号：
- CN114682472A
- 申请日:
- 2022.03.25
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2022
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种超声换能器及其制造方法。该超声换能器，包括：依次层叠设置的基底层(101)，第一电极(104)、振膜层(102)、第二电极(105)、压电层(103)，第三电极(106)，其中，所述基底层(101)的靠近振膜层的一面上设置有凹槽，所述第一电极(104)填充于所述凹槽内，所述振膜层(102)上形成有空腔(107)，所述空腔(107)与所述第一电极(104)的位置相对应。进一步提高了超声换能器件的接收灵敏度，解决了现有超声换能器接收灵敏度受到超声波发射层影响的问题。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
