超声波传感器及其制造方法

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专利权人:

精工爱普生株式会社

发明人:

小岛力

申请号：

CN201580035687.5

公开号：

CN106664493B

申请日:

2015.09.07

申请国别(地区):

CN

年份:

2019

代理人:

摘要：

本发明涉及超声波传感器及其制造方法。该超声波传感器,其具备:具有至少一个开口部(18)的基板、以封闭上述开口部(18)的方式被设置于上述基板的振动板(50)、以沿Y方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向与上述Y方向正交的X方向延伸的多个第一电极(14)、以沿上述X方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向上述Y方向延伸的多个第二电极(16)、以及至少在上述第一电极(14)与上述第二电极(16)交叉的部分被设置于上述第一电极(14)与上述第二电极(16)之间的多个压电体层(15),在与上述X方向以及上述Y方向正交的Z方向,将上述第一电极(14)、上述压电体层(15)以及上述第二电极(16)重合的部分作为有源部,将上述振动板(50)能够通过上述有源部的驱动进行振动的区域作为可动部,在俯视观察时,在将由一个上述可动部与被设置于上述一个可动部内的上述有源部构成的单位作为一个超声波元件时,具备在俯视观察时,相对于上述可动部的面积的上述有源部的面积不同的两种以上的超声波元件。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/