超声波器件及其制造方法、电子设备及超声波图像装置
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 清濑摄内
- 申请号：
- CN201410647455.2
- 公开号：
- CN104644211B
- 申请日:
- 2014.14.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及超声波器件及其制造方法、电子设备及超声波图像装置。超声波器件的特征在于,具备:基板,具有第一开口及第二开口、和将所述第一开口及所述第二开口间隔开的壁部;第一振动膜以及第二振动膜,分别闭塞所述第一开口以及所述第二开口;第一压电元件以及第二压电元件,形成在所述第一振动膜以及所述第二振动膜各自的与所述基板相反一侧的面上;以及声匹配层,以与所述第一振动膜以及所述第二振动膜接触的方式而配置于所述第一开口内以及所述第二开口内。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
