压电器件、超声波的器件及图像装置、探测器和电子设备
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 黑川贤一
- 申请号：
- CN201510441044.2
- 公开号：
- CN105310715B
- 申请日:
- 2015.24.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种压电器件、超声波的器件及图像装置、探测器和电子设备,压电器件的基体(21)具有开口部(46)。开口部(46)由振动膜(24)堵塞。振动膜(24)支承有压电元件(25)。振动膜(24)包括:第一层(48),由具有比氧化硅小的渗水性的材料形成;以及第二层(49),紧贴在第一层(48)上形成,并具有比形成第一层(48)的材料大的韧性值。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
