超声波器件及其制造方法、探测器及电子设备
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 松田洋史
- 申请号：
- CN201510461519.4
- 公开号：
- CN105310721B
- 申请日:
- 2015.30.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及超声波器件及其制造方法、探测器及电子设备。该超声波器件能够实现频率与灵敏度的精度高、且降低串扰。超声波器件的基板(44)具有:第一表面及相反侧的第二表面,并具有由壁部(57)相互间隔开的第一开口部(46)及第二开口部(46)。基板(44)的第一表面配置有分别闭塞第一开口部(46)及第二开口部(46)的第一振动膜(24)及第二振动膜(24)。第一振动膜(24)及第二振动膜(24)分别设置有第一压电元件(29、28、32)及第二压电元件(29、28、32),壁部(57)划分出在基板(44)的第二表面(44b)开口的凹部(56)。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
