压电元件及其制造方法、超声波探头、超声波测量装置
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 山崎清夏,田村博明
- 申请号：
- CN201611042603.3
- 公开号：
- CN106817105A
- 申请日:
- 2016.11.23
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 提供了压电元件及其制造方法、超声波探头、超声波测量装置。压电元件，层叠压电体和以面方位为[111]的单晶硅作为振动用材料的振动板(53)。并且，压电元件的制造方法，包括：从面方位为[111]的单晶硅晶圆切出用于振动板(53)的振动用材料的工序，以及层叠压电体和所述振动板的工序。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
