超声波器件、超声波模块和超声波测量装置
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 宫泽弘,伊藤浩,中村友亮,山田昌佳,清濑摄内,舩坂司
- 申请号：
- CN201780025741.7
- 公开号：
- CN109196881A
- 申请日:
- 2017.18.04
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 提供超声波的收发效率高的超声波器件、超声波模块和超声波测量装置。该超声波器件具备:基板,具有第一开口和第二开口;支承膜,设在基板上,并堵塞第一开口及第二开口;发送用压电膜,设在支承膜上,且从基板的厚度方向观察时,设在与第一开口重叠的位置,发送用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间;以及接收用压电膜,设在支承膜上,且从基板的厚度方向观察时,设在与第二开口重叠的位置,接收用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间,在基板的厚度方向上,发送用压电膜的厚度尺寸比接收用压电膜的厚度薄。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
