超声换能器及其制造方法
- 专利权人:
- 深圳市汇顶科技股份有限公司
- 发明人:
- 王红超,沈健,李运宁
- 申请号：
- CN201880002105.7
- 公开号：
- CN109561876A
- 申请日:
- 2018.24.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种超声换能器及其制造方法。该超声换能器,包括:依次层叠设置的衬底(106)、下电极(105)、支撑块(103)、振膜层(102)、上电极(101);其中,所述衬底(106)的靠近振膜层(102)的一面上设置有凹槽,所述下电极(105)填充于所述凹槽内;所述支撑块(103)将所述振膜层(102)和所述衬底(106)之间的空间分隔成密闭的空腔(104),且所述空腔(104)与所述下电极(105)的位置相对应。从而实现了下电极的阵列化,使得引线方式更加简单,便于对超声换能器阵元的发射和接收进行独立控制。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
