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超音波振動子セル、超音波プローブ、及び超音波振動子セルの制御方法
专利权人:
KONICA MINOLTA; INC.
发明人:
永田 貴之,小椋 高志
申请号:
JPJP2013/007685
公开号:
WO2014/103334A1
申请日:
2013.12.27
申请国别(地区):
WO
年份:
2014
代理人:
摘要:
Provided is an ultrasonic transducer cell in which a cMUT element is stacked on a substrate using a structure that is easy to wire to each electrode, said ultrasonic transducer cell having at least one of the following characteristics: (a) the thickness in a direction that is perpendicular to the upper surface of a first membrane is larger in the first membrane than in a second membrane and/or (b) the spatial area in a direction that is parallel to the upper surface of the first membrane is smaller in a first gap layer that is surrounded by a first membrane support section than in a second gap layer that is surrounded by a second membrane support section or (c) the thickness in a direction that is perpendicular to the upper surface of the first membrane is thicker in the second membrane than in the first membrane and/or (d) the spatial area in a direction that is parallel to the upper surface of the first membrane is smaller in the second gap layer that is surrounded by the second membrane support section than in the first gap layer that is surrounded by the first membrane support section.La présente invention porte sur une cellule de transducteur ultrasonore dans laquelle un élément cMUT est empilé sur un substrat ayant une structure qui est aisée à connecter par fil à chaque électrode, ladite cellule de transducteur ultrasonore ayant au moins lune des caractéristiques suivantes : (a) lépaisseur dans une direction qui est perpendiculaire à la surface supérieure dune première membrane est plus grande dans la première membrane que dans une seconde membrane et/ou (b) la surface spatiale dans une direction qui est parallèle à la surface supérieure de la première membrane est plus petite dans une première couche dintervalle qui est entourée par une première section de support de membrane que dans une seconde couche dintervalle qui est entourée par une seconde section de support de membrane ou (c) lépaisseur dans une direction qui est perpendiculaire à la surface supéri
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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